Без заголовка

Система масштаба пластины (не чипа, который нарезается из пластины, а всей пластины -- с учетом того, что нельзя добиться выхода годных 100% структур на таком масштабе). Гигантский чип из пластины -- это очень круто, и таких работ ведется очень мало.